等离子清洗机
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等离子清洗机  BP980


等离子清洗机

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設備規格:

Item

Specification

Remark

制程规划

手动将产品或载盘,放入腔体中的多层电极架中,高频电源系统,对于摆放在电极架拖盘上或是料盒中的产品进行真空等离子表面改质


传送方式

手动上下料(料盒)

可放置12个料盒/CT约400秒

腔体

材质:SUS 304



内腔容积约110L(W:450mm*H450mm*D540mm)



强化安全玻璃真空腔体窗口 ,抗紫外线及高频辐射


真空泵

真空泵莱宝D-60T+鲍斯BSJ-70罗茨泵

双级泵组


制程压力10~100pa之间



压力量测范围10-3~1   torr


制程气体

混和气体:95%   Ar+5%H2

气体用量约:5~40sccm之间


质流量控制SEVEN START D70


等离子电源

型式:射频RF   Generator(含自动匹配器)



频率:13.56MHz



功率:0-600Watt


等离子效应

载盘(电极)间互相电容感应式产生区域等离子


气体流场分布

门板前端进气口均匀导入制程气体



有效层流,提升等离子均匀度,由腔体后方排气


安全联锁

当腔体门打开,真空PUMP阀件关闭与RF电源无法启动


紧急停止开关EMS

使用锁定类型紧急停止开关和放置在方便操作的区域


控制

PLC+威伦触摸屏/3级密码



厂务需求:

项目

规 格

电  力
  Power   supply

相 (Phase)/ 线 (Line)

3   / 4

电压(Volt))/ 频率(Hz)

380   V/ 50Hz

功率(Power)

4.5KVA

Grounding

压缩空气
  (CDA)

CDA

破真空用/气动组件需求

压力   Pressure (kg/cm2)

6

流量   flow rate (LPM)

80

管径   Pipe dia.(mm)

外径6mm内径4mm

排   气
  Exhaust

内循环

安装原厂油气过滤与回收套件

管径   Pipe dia.(inch)

DN40

外型尺寸                   (Outline)

宽*高*深(mm)

约1100*1600*1060(含三色灯)

运转重量(kg)

约550   KGW


软件应用:

1 整合方式PLC程序控制

2 觸控式顯示面板控制(台湾威伦)。

3 Z大5組製程參數預設及儲存。


受训内容: (先期厂商端简易验收/厂商端受训)

1 訓練程序表:安裝,校正,操作,故障原因追查,保養及維修。 

2 訓練時間及地點:在安裝機地點或客戶端4小時教育訓練。


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